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电子元器件&半导体芯片用UVLED 光源(4寸/6寸/8寸/12寸UVLED光源)
一、电子元器件/半导体芯片光源特点：
*波长365nm/385nm/395nm/405nm。
*光源平行半角1.5°~3°可选，光偏角<0.5°，可满足高解析度曝光需求；
*光源面积：4寸/6寸/8寸/12寸
二、产品主要技术参数：
1.5°~3°可选
| 序号 | 指标参数 | 目前水平 |
| 1 | 光源波段 | 365/385/395/405nm （可选单波，混波） |
| 2 | 产品用途 | 电子元器件，半导体芯片等 |
| 3 | 平行半角 | 0.5°~3°（可选） |
| 4 | 光照面积 | 100*100mm~300mm*300mm |
| 5 | 不均匀性 | <4% |
三、光源使用方向
现广泛应用于晶体管、二极管、电阻、电容、电感、可控硅、肖特基等器件生产的核心曝光工艺环节。
